檢查鋼球的直徑偏差和幾何精度時，必須在規定的專用儀器上測量。精研后的工件表面粗糙度和表面質量檢驗，一般采用在散光燈下目檢。若有爭議，可在90倍的放大鏡下檢查，并與相應的標準照片相對照。超精研后的工件表面質量和表面粗糙度的檢驗，必須抽取一定工件數量在90倍的放大鏡下和標準照片對照檢查。表面粗糙度目視有疑問時，可在表面粗糙度儀上進行檢測。

精研和超精研的燒傷檢查方法采用隨機取樣抽檢，抽檢的數量和質量標準應符合燒傷標準規定。

表面粗糙度不好的原因有：

1.加工量太少，加工時間太短。

2.研磨盤的溝槽太淺，溝槽與工件的接觸面太小。

3.研磨盤的硬度過高或硬度不均，以及有沙眼和氣孔等。

4.研磨膏的加入量過多，或磨料的粒度過粗。

5.研磨盤溝槽內太臟，有鐵屑或其他雜物。

局部表面粗糙度不好的原因有：轉動研磨盤的溝槽過淺，工件接觸面積過??；研磨盤溝槽的角度過小，使工件轉動不靈活；上研磨盤施加的壓力偏小，使工件與研磨盤之間產生滑動。

表面有研傷也是一種缺陷，在循環加工中經常出現，嚴重時在散光燈下可明顯看出有一定深度的凹坑。輕微的散光燈下只看到一片黑色或黃色。但在90倍放大鏡下則可看到凹坑，其低部是粗糙的，劃痕交錯。產生的原因有：研磨盤溝槽深淺不一，工件在較深的溝槽中因壓力小，有時停留有時滑動，致使工件與研磨盤接觸處被研傷；研磨盤的溝槽壁出現掉塊將工件研傷。